负责人下意识地说:“caduv光刻胶。”
庄彦瑜点点头,深紫外光刻胶的化学放大,的确是目前市面上常用的商用光刻胶。
而且据他所了解的,国外许多精细的设备都是对华国卡脖子的,现在研究所里面有这样一台光刻轨道系统确实不容易了,虽然粗糙了一点。
光刻轨道系统一共八个步骤,最重要的一步就是对准和曝光。
因为这一步,就是真正进入光刻的步骤。庄彦瑜说要改良的地方,也正是这一个地方。
光学芯片之所以离不开集成电路,就是因为它是通过在硅片上表面几微米形成的半导体器件,再通过加工形成材料层的图形来互相连接的。
这就意味着也离不开光学光刻。
这也正是负责人看了庄彦瑜的报告后,无语又头痛的一个地方。
“你说说,抛弃光学光刻,我们还能做什么芯片?我们花费这么多人力物力,才终于赶上了一些国际的脚步,走到了现在。你有心改良光刻轨道系统,我也很开心,但这步子不能迈得太大,咱华国人都是一步一步走过来的,走得踏实,也走得放心不是?”
庄彦瑜没说话,他手上拿着纸笔,已经开始在写写画画。
负责人:“小庄同志?”
庄彦瑜闻言抬头,一脸疑惑:“嗯?”
负责人:“……算了,你在写什么?”
难道是把自己刚刚说的话,全部记下来了?
这么认真?
负责人表情变得和善了
一些。
虽然这个年轻人胆子很大,但不管怎么说,在态度上还是……
一个念头还没转完,就听庄彦瑜说:“升级计划图,以及需要用到的材料。哦,对了,我还需要一台指定计算机,算法和运行系统我要改,现在的光学波长不行。而且你们的光探测器和相应的控制电路,用在步进光刻机和步进光刻扫描机中,竟然还使用快门来监测……这样控制曝光剂量错误率很高……算了,也没事,我会重新编写一套算法架构,制作另一套自动监测系统。”
负责人:“???”
负责人:“不是,你说你在写什么?”
升级计划图这就出来了?
他不是特地带这小年轻进来见见市面的吗?!
负责人还在震惊,一边的周青城已经跳跃了起来:“我那有!嫂子你去我那写吧!”
庄彦瑜点点头:“可以。”
周青城:“还车间其他地方还要看吗?比如硅片处理区?哦哦,还有那一边,那一边都是高温炉设备。”
庄彦瑜:“用的什么炉?卧式还是立式?”
周青城:“唔,是rtp(快速热处理),我们这边只是研究嘛,不是大批量生产的车间,所以就使用这个了。”
庄彦瑜可以理解:“那就不需要看了,反正就是过渡先用着,将来全部也要换的,我们走吧。”
周青城:“好嘞!”
两人边说边走了。
留下负责人站在那儿。
不是,他才是负责人吧?他还没批准呢!
-
庄彦瑜在实验区开始了大大的整改计划。
完全不知道,基地外头,网络再度爆炸了。
依旧还是因为华耐科技那个打人的技术研究员,戴德。
戴德因为打了人,但是花钱私了后,只会批评教育了一翻,就放了出来。
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